Studi Teoritik Penentuan Ketebalan Lapisan Tipis Lead Zircone Titane (PZT) Pada Proses Spin Coating

Teguh Yoga Raksa1), M. Hikam1), Hanedi S2) dan Irzaman2)
1) Jurusan Fisika FMIPA Universitas Indonesia
2)Jurusan Fisika FMIPA Institut Pertanian Bogor
Jurusan Fisika FMIPA UI, Kampus Baru UI-Depok 16424
E-mail : teguhyr@yahoo.com atau hikam@fisika.ui.ac.id

Abstrak
Telah dilakukan penentuan secara analitik ketebalan lapisan tipis PZT pada proses spin coating dengan mengembangkan penurunan yang dilakukan oleh Washo. Pemodelan secara analitik dilakukan dengan menganggap aliran radial tunak pada substrat, melihat pengaruh perubahan kecepatan angular terhadap tebal lapisan tipis yang terbentuk dan pengaruh pengukuran waktu sebelum kecepatan konstan pada proses spin coating. Dari pemodelan yang dilakukan diperoleh hasil sistem yang sesuai, besarnya ketebalan lapisan tipis PZT tergantung pada ukuran preparat dan sebanding dengan , w dan t menunjukan lama waktu pemutaran dan kecepatan angular.